氣體質(zhì)量流量控制器卓越的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司獨(dú)特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測(cè)量氣體流量的冷卻效果。通過(guò)測(cè)量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測(cè)器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。

 

     Dmass質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
 

     流量質(zhì)量控制器出廠(chǎng)通常用氮?dú)?N ₂ )標(biāo)定。如果要求用使用氣體標(biāo)定，需要在訂貨時(shí)與銷(xiāo)售人員特別申明。 用氮?dú)鈽?biāo)定的流量控制器用戶(hù)使用其它氣體時(shí)，可以通過(guò)附錄的轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行換算。
 

    使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過(guò)濾器，如果流量計(jì)出口接有液體源瓶，應(yīng)在流量計(jì)出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計(jì)。
 

    流量計(jì)通道采用的材料為：SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS 417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶(hù)系統(tǒng)無(wú)汽水、低泄露、勤清晰、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，可以用于控制一般的腐蝕性其他使用強(qiáng)腐蝕性氣體和有機(jī)溶劑氣體時(shí)，應(yīng)在定貨時(shí)聲明。 使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應(yīng)改變。