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測八氟丙烷用什么流量計?

來源:上海瓷熙儀器儀表有限公司 發(fā)布時間:2022-10-20 10:51:40

問:測八氟丙烷用什么流量計?

解答:八氟丙烷介質可以使用氣體質量流量計進行測量,八氟丙烷,是一種有機化合物,無色氣體,難溶于水,在微電子工業(yè)中用于等離子蝕刻以及器件表面清洗,也用于低溫制冷、醫(yī)療用氣及氣體絕緣等,建議使用氣體質量流量計進行測量。

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氣體質量流量計

氣體質量流量計的工作原理

氣體自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值,然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸



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